喜開理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W
簡要描述:喜開理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W■壓力及流量特性*氟樹脂膜片,與金屬膜片相比,壓力和流量特性更加*■由于過濾器為內(nèi)置型,更能保證流體內(nèi)無異物,更安全■采用面板安裝,使安裝過程更加容易,也可以在底部進(jìn)行安裝
產(chǎn)品型號:
所屬分類:喜開理CKD電磁閥
更新時(shí)間:2024-11-01
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
喜開理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W
壓力(B→A) MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時(shí))
背壓MPa 0~0.5
環(huán)境溫度°C 0~60
頻率30/分以下
安裝方式自由
比原有產(chǎn)品Part 3系列壓力范圍更大。
控制壓力通用,A、B 口的壓力通用化了。
本品是在半導(dǎo)體線中,為控制真空室內(nèi)的真空壓力而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
●各種CVD裝置 ●實(shí)驗(yàn)·研究用途(真空壓力控制)
APK11-25A-C4A AC220V |
apk11-25a-c4a-ac220v |
APS-6D |
APS-6D-W/Z |
ARB250-00-P |
AT-24 |
AX1045TS-DM02-P3-U0 |
AX4022TS-BS-DM04-P3-S-U0 |
AX4045TS-BS-DM04-P3-S-U0 |
AX4045TS-DM04-P1-U1 |
AX4045TS-DM04-P3-S-U4 |
AX4075TS-DM04-U0 |
AX4300TH-DM04-P3-U0 |
AX9000TS-U0 |
B110-W |
B2019-2C-P |
B410-W |
C1000-8-W-F1 |
C1020-8-W-US |
C3030-10W |
前請確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與流體及周邊環(huán)境是否適用。
注2 :氫氟酸或者含有氫氟酸的化學(xué)液體時(shí),
請?jiān)?~80°C范圍內(nèi)。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件,溫度范圍變?yōu)?~100°C。
Cv值是溫度為23°C時(shí)的值。
流體純水、化學(xué)液體、空氣、氮?dú)猓ㄗ?)
流體溫度°C 5~120 (注2、注3)
耐壓MPa 1.0
壓力(A→B) MPa 0~0.5
在半導(dǎo)體以及LCD制造的清潔化學(xué)液體(包括純水)的設(shè)備
內(nèi),用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥
■對異物非常敏感的內(nèi)置型過濾器
■流量、壓力特性優(yōu)良,安裝簡單
■優(yōu)良的耐腐蝕性
接液部位氟樹脂(PFA、PTFE)和SUS316,可發(fā)揮優(yōu)良的耐腐蝕性
喜開理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W